掃描電子顯微鏡是根據(jù)不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實(shí)現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息；對x射線的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。正因如此，根據(jù)不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
掃描電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)
①有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)；
②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；
③試樣制備簡單。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。
由于掃描電子顯微鏡可用多種物理信號對樣品進(jìn)行綜合分析，并具有可以直接觀察較大試樣、放大倍數(shù)范圍寬和景深大等特點(diǎn)，當(dāng)陶瓷材料處于不同的外部條件和化學(xué)環(huán)境時(shí)，掃描電子顯微鏡在其微觀結(jié)構(gòu)分析研究方面同樣顯示出極大的優(yōu)勢。
掃描電子顯微鏡主要表現(xiàn)為：
⑴力學(xué)加載下的微觀動態(tài) （裂紋擴(kuò)展）研究 ；
⑵加熱條件下的晶體合成、氣化、聚合反應(yīng)等研究 ；
⑶晶體生長機(jī)理、生長臺階、缺陷與位錯(cuò)的研究；
⑷成分的非均勻性、殼芯結(jié)構(gòu)、包裹結(jié)構(gòu)的研究；
⑸晶粒相成分在化學(xué)環(huán)境下差異性的研究等。
