掃描電子顯微鏡（SEM）是一種利用高能電子束掃描樣品表面，通過探測電子與樣品相互作用產生的信號來成像的顯微設備。其核心優勢是高分辨率(可達納米級)、大景深、寬放大倍數范圍，廣泛應用于材料科學、生物醫學、微電子、地質礦物、刑偵鑒定等領域。
掃描電子顯微鏡的原理：
電子束產生與聚焦：電子槍發射高能電子，經聚光鏡、物鏡逐級聚焦，形成直徑極細的 “電子探針”；
掃描與信號交互：電子探針在樣品表面按一定規律逐點、逐行掃描，與樣品原子發生碰撞，產生多種特征信號；
信號探測與成像：探測器收集這些信號，并將其轉化為電信號，最終通過計算機處理成與掃描軌跡同步的圖像。
在選購時應注意以下幾點：
1、明確需求：
樣品類型：生物樣品需低電壓模式以減少損傷；導電性差的樣品需噴金處理。
分析目標：若需元素分析，需選擇配備EDS的型號；若需高分辨率，優先場發射SEM。
2、關鍵參數對比：
分辨率：場發射SEM(1nm)優于鎢燈絲SEM(3-10nm)。
加速電壓：0-30kV連續可調，低電壓模式適合觀察非導電樣品。
探測器類型：背散射電子探測器(BSE)適合成分分析，二次電子探測器(SE)適合形貌觀察。
3、擴展性：
能譜一體機：支持EDS分析，擴展元素檢測功能。
環境SEM：可在潮濕或含油環境中觀察樣品，適應特殊需求。
