飛納掃描電鏡是針對(duì)臺(tái)式電鏡設(shè)計(jì)的，本著臺(tái)式電鏡簡(jiǎn)單易用，利用半導(dǎo)體制冷，無需額外冷卻系統(tǒng)，是一款具有處理所有類型材料能力的分析儀器，可以提供成像質(zhì)量，配備X射線能譜儀接口，并有X射線幾何設(shè)計(jì)，可對(duì)所有樣品進(jìn)行分析，對(duì)于非導(dǎo)體采用電子束襯管技術(shù)也提高了圖像質(zhì)量和分析精度。
掃描電鏡先進(jìn)的X射線幾何結(jié)構(gòu)以及標(biāo)配能譜儀和波譜儀，可變電壓功能用于分析較少制備的非接觸式樣品，可移動(dòng)的顯微鏡樣品臺(tái)用于觀察大型樣品，是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的結(jié)構(gòu)包括電子光學(xué)系統(tǒng)、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、X射線能譜分析系統(tǒng)。
電子光學(xué)系統(tǒng)提供一個(gè)穩(wěn)定的電子源，形成電子束，一般使用鎢絲陰極電子槍，用直徑約為0.1 mm的鎢絲，彎成發(fā)夾形，形成半徑約為100um的V形。當(dāng)燈絲電流通過時(shí)，燈絲被加熱，達(dá)到工作溫度后便發(fā)射電子，在陰極和陽極間加有高壓，這些電子則向陽極加速運(yùn)動(dòng)，形成電子束，掃描電鏡電子束在高壓電場(chǎng)作用下，被加速通過陽極軸心孔進(jìn)入電磁透鏡系統(tǒng)。
飛納掃描電鏡主要包括掃描發(fā)生器、掃描線圈和放大倍率變換器，由X掃描發(fā)生器和Y掃描發(fā)生器組成，產(chǎn)生的不同頻率的鋸齒波信號(hào)被同步送入鏡筒中的掃描線圈和顯示系統(tǒng)CRT中的掃描線圈上。掃描電鏡鏡筒的掃描線圈分上、下雙偏轉(zhuǎn)掃描裝置，其作用是使電子束正好落在物鏡光闌孔中心，并在樣品上進(jìn)行光柵掃描。
