在當今高科技行業(yè)中，精密離子研磨技術的進步對材料科學、半導體制造和納米技術的發(fā)展至關重要。
作為行業(yè)引領者，Technoorg Linda 再次突破創(chuàng)新，在匈牙利首都布達佩斯剛剛結(jié)束的全球會議中正式發(fā)布了其最新產(chǎn)品 —— 離子研磨儀 SEMPREP SMART 與離子精修系統(tǒng) Gentle Ion Beam（GIB），為全球用戶帶來更加高效、精確的解決方案。
復納科學儀器（上海）有限公司作為 Technoorg Linda 在中國的d家合作伙伴，我們?yōu)榭蛻籼峁┊a(chǎn)品培訓、技術支持和售后服務。
當前在國內(nèi)市場，Technoorg Linda 專注于引進并推廣 SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設備。本次發(fā)布的新產(chǎn)品 SEMPREP SMART 離子研磨儀主要用于掃描電鏡（SEM）樣品制備，Gentle Ion Beam（GIB）精修離子束系統(tǒng)主要用于雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進行zui終拋光和溫和的表面清潔。
新產(chǎn)品 01
SEMPREP SMART 離子研磨儀
SEMPREP SMART 配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。用于掃描電子顯微鏡（SEM）和電子背散射衍射（EBSD）樣品的最終加工和清潔。離子加工可以改進和清潔機械拋光的 SEM 樣品，并為 EBSD 分析制備無損表面。該設備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品，例如在半導體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實現(xiàn)出色的效果。
SEMPREP SMART
產(chǎn)品特點：
1.配方庫-離線：基于我們長期的經(jīng)驗積累
先進的離子槍設計和自動化功能
采用超高能離子槍，最高可達 16keV，帶來更快的加工速率，更優(yōu)異的加工效果。
新型智能化操作軟件
Technoorg Linda 的新產(chǎn)品在設計上充分考慮了用戶的實際需求，開創(chuàng)性的將 AI 算法集成到系統(tǒng)中，使操作更加智能化，提供多種操作模式：
1.配方庫-離線：基于我們長期的經(jīng)驗積累
2.自動配方生成 - 離線：基于簡短問卷
3.Linda AI - 在線：實時搜索最佳解決方案，訪問龐大數(shù)據(jù)庫以獲取最佳結(jié)果
高效，全面，智能化的理解用戶需求，提供即時的反饋和解決方案
高分辨率數(shù)字相機
在處理過程中用于樣品觀察
全新的對位樣品臺
在進行 90° 截面樣品加工時帶來更加精確的樣品定位
可選的新型 LN2 冷卻系統(tǒng)
為用戶帶來更加高效及精確的長時間控溫
使用氬離子束進行加工
平面加工模式
在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續(xù)旋轉(zhuǎn)的條件下進行加工
Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界類型 (b)
90° 截面加工模式
使用鈦或玻璃擋板進行連續(xù)搖擺的截面加工
TFT 板的 90° 加工，位置精度為 ±1 微米 加工點后方的 TFT表面細節(jié)
新產(chǎn)品 02
GIB 精修離子束系統(tǒng)
Technoorg Linda 的精修離子束系統(tǒng)（GIB）適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧化物表面層。當?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時，其作用尤為明顯。有了集成離子槍，就可以在研究之前對樣品進行精修。實現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個重要應用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進行最終拋光和溫和的表面清潔。
GIB 精修離子束系統(tǒng)
產(chǎn)品特點：
儀器控制單元
電子元件、閉環(huán)冷卻系統(tǒng)和氬氣壓力傳感器均位于控制單元內(nèi)。高純度（99.999%）氬氣用于供應離子源，其流量由高精度針閥調(diào)節(jié)。控制軟件在 Windows 操作系統(tǒng)下運行，可以單獨安裝在一臺計算機上，也可以安裝在 SEM 的計算機上
可與掃描電鏡集成
帶波紋管的傳輸系統(tǒng)可通過連接管安裝到掃描電鏡上。連接管輸出法蘭的尺寸與相應的 SEM 端口尺寸相匹配。通過線性傳輸系統(tǒng)提供離子源流動性，可實現(xiàn)理想的工作距離（15-30 mm）。
低能量氬離子槍
低能量離子槍的直徑和長度均為 50mm。氬離子束的能量范圍：100keV - 2keV。2keV 時的最大束流為 70µA。離子束為寬束，F(xiàn)WHM 為 2mm。
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